Foirnéis feadán cothrománach
Trealamh Foirnéise Bosca 2.Lab: 1L -36 l
3. Is féidir le teocht na hoibre céim 1200 céim -1700 a bhaint amach
*** Liosta praghsanna don iomlán thuas, déan fiosrú orainn a fháil
Cur síos
Paraiméadair theicniúla
Réamhrá leFoirnéis feadán cothrománach, is trealamh téimh é a úsáidtear go forleathan in eolaíocht ábhar, innealtóireacht cheimiceach, déantúsaíocht leathsheoltóra agus réimsí eile. Tá a ghné struchtúrach suite i socrú cothrománach na bhfeadán foirnéise, a théitear le heilimintí téimh chun na hábhair taobh istigh de na feadáin foirnéise a chóireáil. Déanann sé an sampla a théamh trí fheadáin foirnéise atá eagraithe go cothrománach, a bhfuil na buntáistí a bhaineann le rialú beacht teochta, téamh aonfhoirmeach, agus oibriú éasca.
Go háirithe i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, tá raon leathan feidhmchlár agus luach suntasach aige. Fágann a struchtúr agus a fheidhm uathúil go bhfuil sé an -luachmhar in iarratais ar nós silicon sliseog, cóireáil teasa, próiseas miotalaithe, próiseas eitseáil, agus próiseas pacáistithe. Ag an am céanna, cuireann an rialú ard-bheachtais, próiseáil ardéifeachtúlachta, inoiriúnaitheacht mhaith, agus cobhsaíocht den scoth an TF an-iontaofa agus cobhsaí i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.
Paraiméadar
Prionsabal oibre
Prionsabal oibre aFoirnéis feadán cothrománachbunaithe ar phrionsabail an tseolta teasa agus an chomhiompair. Nuair a chuirtear an eilimint téimh faoi thiomáint le haghaidh teasa, aistrítear teas chuig an bhfeadán foirnéise agus sampla trí sheoladh teirmeach, agus scaipeann an t -aer te taobh istigh den fhoirnéis an teas go cothrom ar fud na foirnéise ar fad trí chomhiompar.
Próiseas Teasa:
Tar éis don eilimint téimh a bheith faoi thiomáint, cruthaíonn sé teas agus aistríonn sé é chuig an bhfeadán foirnéise. Tar éis an feadán foirnéise a théamh, aistríonn sé teas chuig an sampla taobh istigh. Mar gheall ar seoltacht theirmeach den scoth an fheadáin foirnéise, is féidir leis an sampla an teocht socraithe a bhaint amach go tapa.
Rialú teochta:
Déanann an córas rialaithe teochta monatóireacht ar an teocht taobh istigh den fhoirnéis i bhfíor -am agus athraíonn sé cumhacht na heilimint teasa bunaithe ar an difríocht idir an teocht socraithe agus an teocht tomhaiste. Nuair a bhíonn an teocht tomhaiste níos airde ná an teocht socraithe, laghdaíonn an rialaitheoir cumhacht na heiliminte téimh; Nuair a bhíonn an teocht tomhaiste níos ísle ná an teocht socraithe, méadaíonn an rialaitheoir cumhacht na gné teasa. Trí chumhacht na heilimint teasa a choigeartú go leanúnach, is féidir an teocht taobh istigh den fhoirnéis a choinneáil seasmhach.
Rialú atmaisféir:
Rialaíonn an córas rialaithe atmaisféir an timpeallacht atmaisféir taobh istigh den fhoirnéis trí ráta agus cineál an tsreafa gáis a choigeartú. Mar shampla, sa phróiseas monaraithe leathsheoltóra, is gá an t -ábhar ocsaigine agus gaile uisce a rialú taobh istigh den fhoirnéis chun ocsaídiú agus éilliú samplach a sheachaint. Is féidir leis an gcóras rialaithe atmaisféir an timpeallacht atmaisféir a rialú go cruinn taobh istigh den fhoirnéis chun riachtanais an phróisis a chomhlíonadh.
Cur i bhfeidhm sonrach an fheadáin chothrománaigh i ndéantúsaíocht leathsheoltóra
Tá raon leathan feidhmchlár ag an bhfeadán Horizntal Furnce i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, agus tá a struchtúr agus a fheidhm uathúil ar cheann de na trealamh fíor -riachtanach sa phróiseas próiseála leathsheoltóra.
Struchtúr bunúsach agus prionsabal oibre
Is trealamh próiseála leathsheoltóra a úsáidtear go coitianta é Furnce Feadán Horizntal, atá cosúil le feadán fada agus a bhfuil seomra imoibriúcháin ardteochta taobh istigh aige. Glacann an gléas modh rialaithe atmaisféir, agus is féidir timpeallachtaí atmaisféir éagsúla a roghnú de réir riachtanais próiseála éagsúla chun an éifeacht próiseála is fearr a bhaint amach.
Is é prionsabal oibre an fheadáin feadáin feadáin ná na himoibreoirí a théamh taobh istigh de chuas na foirnéise, rud a fhágann go ndéantar iad a dhéanamh ar imoibrithe ceimiceacha nó athruithe fisiciúla ag teochtaí arda, rud a fhágann cuspóir na próiseála. I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, baintear úsáid as troscáin fheadáin chothrománacha go príomha chun cóireáil a dhéanamh ar shliocht sileacain agus ar chóireáil teasa.
Iarratas i Silicon Wafer Annealing
Feabhas a chur ar shláine laitíse sliseog sileacain
Tá Silicon Wafer ar cheann de na hábhair thábhachtacha sa tionscal leathsheoltóra, agus bíonn tionchar díreach ag a cháilíocht agus a fheidhmíocht ar iontaofacht agus ar fheidhmíocht feistí leathsheoltóra. Le linn na próiseála, tá sliseoga sileacain i mbaol teorann gráin ag síneadh mar gheall ar strus, rud a d'fhéadfadh briseadh agus damáiste criostail sileacain a bheith mar thoradh air. Tríd an t-uafás ardteochta i bhfoirnéis feadán feadán, is féidir strus sa sliseog sileacain a bhaint, é a choinneáil slán agus damáiste a dhéanamh don laitíse sliseog sileacain.
Le linn an phróisis ionramhála, cuirtear an sliseog sileacain taobh istigh de fhoirnéis feadán feadán agus coinnítear é ag teocht ard ar feadh tréimhse ama, ag scaoileadh an strus inmheánach den sliseog sileacain de réir a chéile agus ag atheagrú an laitíse, rud a fheabhsaíonn sláine laitíse an sliseog sileacain.
Feabhas a chur ar airíonna leictreacha sliseoga sileacain
Tá airíonna leictreacha sliseoga sileacain ar cheann de na príomhfhachtóirí a théann i bhfeidhm ar fheidhmíocht na bhfeistí leathsheoltóra. Tríd a bheith ann i bhfoirnéis feadán feadán, is féidir airíonna leictreacha sliseoga sileacain a fheabhsú, agus is féidir a seoltacht agus a gcobhsaíocht a fheabhsú.
Le linn an phróisis annealing, imoibríonn an sliseog sileacain leis an atmaisféar taobh istigh den fhoirnéis ag teochtaí arda, ag baint an ocsaíd ar dhromchla an tsleachta sileacain agus ag gníomhachtú na n -adamh eisíontais taobh istigh den sliseog sileacain, rud a fheabhsaíonn a chuid airíonna leictreacha.
Ocsaídí a bhaint as dromchla sliseoga sileacain
Is minic a bhíonn ocsaídí i ndromchla sliseoga sileacain, ar féidir leo dul i bhfeidhm ar a seoltacht agus ar a gcobhsaíocht. Le linn an phróisis mhonaraithe, is gá ocsaídí a bhaint as dromchla sliseoga sileacain chun a n -cothroime agus a réidh a chinntiú, rud a fheabhsaíonn feidhmíocht feistí leathsheoltóra.
Is féidir leis an bhfoirnéis feadán horiontal ocsaídí a bhaint ar dhromchla sliseoga sileacain trí rialú atmaisféir. Le linn an phróisis ionracas, imoibríonn an t -atmaisféar taobh istigh den fhoirnéis leis an ocsaíd ar dhromchla an tsleasa sileacain chun substaintí so -ghalaithe a ghiniúint, a scaoiltear ansin trí chóras sceite na foirnéise chun an sprioc a bhaint amach chun an ocsaíd a bhaint.
Feidhm i gcóireáil teasa sliseog sileacain
Rialú sliseoga sileacain dópáilte
I bhfeistí leathsheoltóra, tá gá le sliseoga sileacain a bhfuil ábhair éagsúla acu mar gheall ar riachtanais éagsúla feidhmíochta leictreachais. Is féidir le foirnéis feadán Horiontal paraiméadair rialaithe atmaisféir éagsúla a úsáid chun céim agus doimhneacht na sliseoga sileacain a rialú, chun riachtanais na bhfeistí éagsúla a chomhlíonadh le haghaidh dópáil sliseog sileacain.
Le linn an phróisis dópála, cuirtear an sliseog sileacain taobh istigh de fhoirnéis feadán feadán, agus imoibríonn an t -atmaisféar taobh istigh den fhoirnéis leis an sliseog sileacain, ag ligean do na hadaimh dópáilte dul isteach sa taobh istigh den sliseog sileacain. Trí pharaiméadair a choigeartú mar atmaisféar agus teocht taobh istigh den fhoirnéis, is féidir líon agus dáileadh na n -adamh dópáilte a rialú chun an éifeacht dópála inmhianaithe a bhaint amach.
Ullmhú scannáin tanaí ar dhromchla sliseog sileacain
I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, is gá uaireanta scannán tanaí a ullmhú ar dhromchla sliseog sileacain chun a fheidhmíocht a fheabhsú nó chun feidhmeanna sonracha a bhaint amach. Is féidir foirnéis feadán Horizntal a úsáid le haghaidh ullmhú tanaí scannán ar dhromchla sliseoga sileacain.
Le linn an phróisis ullmhúcháin scannán tanaí, cuirtear an sliseog sileacain taobh istigh de frnace feadán cothrománach, agus imoibríonn an t -atmaisféar taobh istigh den fhoirnéis le dromchla an tsleachta sileacain ag teochtaí arda chun an scannán tanaí atá ag teastáil a ghiniúint. Trí pharaiméadair a choigeartú mar atmaisféar, teocht, agus am imoibriúcháin taobh istigh den fhoirnéis, is féidir tiús, comhdhéanamh, agus airíonna an scannáin a rialú.
Ocsaídiú agus nítrídiú sliseoga sileacain
Is céimeanna tábhachtacha próisis iad ocsaídiú agus nitridation sliseoga sileacain i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Is féidir foirnéis feadán Horizntal a úsáid le haghaidh ocsaídiúcháin agus cóireáil nítríde sliseoga sileacain.
Le linn an phróisis ocsaídiúcháin, cuirtear an sliseog sileacain i seomra foirnéise foirnéise feadán Horizntal, agus imoibríonn an ocsaigin sa seomra foirnéise le dromchla an sliseog sileacain ag teocht ard chun scannán dé -ocsaíde sileacain a dhéanamh. Trí pharaiméadair a choigeartú mar thiúchan ocsaigine, teocht, agus am imoibriúcháin taobh istigh den fhoirnéis, is féidir tiús agus airíonna an scannáin dé -ocsaíde sileacain a rialú.
Le linn an phróisis nítríde, cuirtear an sliseog sileacain taobh istigh de fhoirnéis feadán Horizntal, agus imoibríonn an gás nítrigine taobh istigh den fhoirnéis le dromchla an sliseog sileacain ag teochtaí arda chun scannán nítríde sileacain a dhéanamh. Silicon Tá friotaíocht den scoth ag scannáin tanaí nítríde, friotaíocht creimthe, agus cobhsaíocht ardteochta, ar féidir iad a úsáid chun dromchla sliseoga sileacain a chosaint nó feidhmeanna sonracha a bhaint amach.
Feidhmchláir eile de fhoirnéis feadán cothrománach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra
Próiseas miotalaithe
Tá an próiseas miotail ar cheann de na céimeanna tábhachtacha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, a úsáidtear chun leictreoidí miotail nó sreanga a dhéanamh ar shliocht sileacain. Is féidir foirnéisí feadán Horizntal a úsáid chun cóireáil a chur i bhfeidhm i bpróisis mhiotalacha chun greamaitheacht agus cobhsaíocht leictreoidí miotail nó sreanga a fheabhsú.
Le linn an phróisis ionramhála, cuirtear an sliseog sileacain miotalaithe i seomra foirnéise foirnéise feadán spéirithe agus coinnítear é ag teocht ard ar feadh tréimhse ama chun an nascadh idir an leictreoid nó an tsreang miotail agus an sliseog silicon a dhéanamh níos déine, rud a fheabhsaíonn a ghreamaitheacht agus a chobhsaíocht.
Próiseas eitseáil
Is céim é an próiseas eitseáilte a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóra chun ábhar iomarcach a bhaint as dromchla sliseoga sileacain. Is féidir foirnéis feadán Horizntal a úsáid chun cóireáil a dhéanamh tar éis an phróisis eitseáil chun damáiste agus strus a ghintear le linn an phróisis eitseáil a bhaint.
Le linn an phróisis ionracas, cuirtear an sliseog sileacain eitseáilte taobh istigh de fhoirnéis feadán spéirithe agus coinnítear é ag teocht ard ar feadh tréimhse ama, ag scaoileadh an strus inmheánach den sliseog sileacain de réir a chéile agus ag atheagrú an laitíse, rud a fhágann an damáiste agus an strus a ghintear le linn an phróisis eitseáil.
Próiseas pacáistithe
Is é an próiseas pacáistithe an chéim dheiridh i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, a úsáidtear chun feistí leathsheoltóra a chuimsiú laistigh de sliogáin chosanta chun a n -iontaofacht agus a gcobhsaíocht a fheabhsú. Is féidir foirnéis feadán Horizntal a úsáid chun cóireáil a chur ar fáil i bpróisis phacáistithe chun strus agus damáiste a ghintear le linn an phróisis phacáistithe a bhaint.
Le linn an phróisis annealing, cuirtear an gléas leathsheoltóra pacáistithe taobh istigh de fhoirnéis feadán Horizntal agus coinnítear é ag teocht ard ar feadh tréimhse ama chun an strus a scaoileadh de réir a chéile taobh istigh den ábhar pacáistithe, an laitíse a athshocrú, agus an strus agus an damáiste a ghintear le linn an phróisis phacáistithe a bhaint.
Laghdaigh éifeachtúlacht theirmeach teirmeach sceite-theochta
Dearadh na rannóige comhiompair optamaithe
Líon na bhfeadán comhiompair a mhéadú
Trí líon na bhfeadán comhiompair a mhéadú, is féidir an limistéar teagmhála idir an gás múcháin agus an dromchla téimh a leathnú, chun éifeachtúlacht an mhalartaithe teasa a fheabhsú agus an teocht sceite a laghdú.
Socrú feadán comhiompair optamaithe
Mar gheall ar shocrú réasúnach feadán comhiompair, tá sé níos éifeachtaí teas an gháis múcháin a ghabháil agus a aistriú. Mar shampla, is féidir úsáid a bhaint as leagan amach nó leagan amach bíseach chun an cosán sreafa agus an t -am cónaithe deataigh sa phíopa a mhéadú.
Feabhas a chur ar éifeachtúlacht dromchla teasa
Úsáid ábhair éifeachtacha aistrithe teasa
Roghnaigh ábhair a bhfuil seoltacht ard teirmeach acu chun dromchlaí téimh a dhéanamh, amhail cruach dhosmálta, cóimhiotal copair, etc., chun éifeachtúlacht malartaithe teasa a fheabhsú.
Coinnigh an dromchla teasa glan
Glan an deannach agus an salachar go rialta ar an dromchla téimh agus coinnigh a dhromchla glan chun éifeachtúlacht an aistrithe teasa a fheabhsú. Laghdóidh carnadh deannaigh agus salachar feidhmíocht aistrithe teasa an dromchla teasa, agus mar thoradh air sin tiocfaidh méadú ar theocht sceite.
Coigeartaigh an próiseas dócháin
Rialú réasúnta ar an iomarca comhéifeacht aeir
Is é an comhéifeacht iomarcach aeir an cóimheas idir an soláthar aeir iarbhír agus an soláthar aeir teoiriciúil. Is féidir le rialú réasúnach ar an iomarca comhéifeacht aeir, an iomarca aeir a sheachaint isteach sa fhoirnéis, an méid deataigh a laghdú, rud a laghdaíonn an teocht sceite.
Éifeachtúlacht dócháin breosla a fheabhsú
Trí dhearadh an dóire a bharrfheabhsú agus na paraiméadair dócháin a choigeartú, amhail luas insteallta breosla agus teocht an tseomra dócháin, is féidir éifeachtúlacht dócháin an bhreosla a fheabhsú, agus is féidir méid an bhreosla dócháin neamhiomlán a laghdú, rud a laghdóidh an teocht sceite.
Trealamh aisghabhála teasa dramhaíola a mhéadú
Suiteáil Réamhthéiteoir Aeir
Is féidir leis an réamhthéamh aeir teas dramhaíola an gháis múcháin a úsáid chun an t -aer a théann isteach sa fhoirnéis a réamhthéamh, rud a fheabhsaíonn éifeachtúlacht an dócháin agus an teocht sceite a laghdú.
Coire teasa dramhaíola a chur ar bun
Is féidir leis an gcoire teasa dramhaíola an teas dramhaíola sa ghás múcháin a aisghabháil agus é a thiontú ina fhuinneamh úsáideach ar nós gaile nó uisce te, rud a laghdaíonn an teocht sceite agus éifeachtúlacht úsáide fuinnimh a fheabhsú.
Bearta Eile
Bearta inslithe a neartú
Is féidir le cóireáil mhaith caomhnaithe teasa do chorp foirnéise foirnéise feadán cothrománach an caillteanas teasa a laghdú agus an teocht sceite a laghdú.
Cothabháil agus cothabháil rialta
Is féidir le cothabháil agus cothabháil rialta na foirnéise feadán cothrománach, mar shampla an dromchla teasa a sheiceáil, an fuinseog a ghlanadh, na paraiméadair dócháin a choigeartú, a ghnáthoibriú a chinntiú agus an teocht sceite deataigh a laghdú.
Ba chóir a thabhairt faoi deara go gcaithfear fachtóirí mar gheilleagar, sábháilteacht agus iontaofacht an trealaimh a mheas go cuimsitheach sa phróiseas chun teocht sceite an deataigh a laghdú. Ag an am céanna, is gá freisin na bearta agus na modhanna cuí a roghnú de réir riachtanais shonracha an phróisis agus na coinníollacha oibriúcháin.
Ina theannta sin, nuair a bhíonn an teocht sceite ró -íseal, d'fhéadfadh sé a bheith ina chúis le creimeadh pointe drúchta teochta íseal ar dhromchla an mhalartaithe teasa. Dá bhrí sin, agus an teocht sceite á roghnú, ní mór na tosca mar éifeachtúlacht theirmeach agus trealamh a mheá chun a chinntiú gur féidir leis an teocht sceite caillteanas teasa a laghdú gan damáiste a dhéanamh don trealamh.
Clibeanna Te: Foirnéis feadán cothrománach, monaróirí foirnéise feadán cothrománach na Síne, soláthróirí, monarcha
'Nar par ya
Foirnéis feadán ardteochtaNext2
Foirnéis feadán scoilteGlaoigh Linn
B’fhéidir gur mhaith leat freisin
